एक सेमीकंडक्टर फैब को वेट बेंच प्रोसेस टैंक के लिए एक कस्टम PTFE इमर्शन हीटर की आवश्यकता होती है। हीटर को थर्मल ड्यूटी, रसायन विज्ञान और जगह की कमी के लिए सही ढंग से डिजाइन किया गया था। इसे स्थापित किया गया और तीन महीने तक सफलतापूर्वक संचालित किया गया। फिर फैब के गुणवत्ता विभाग ने ग्राहक ऑडिट के लिए दस्तावेज़ीकरण का अनुरोध किया। हीटर आपूर्तिकर्ता सामग्री ट्रैसेबिलिटी, सतह खत्म प्रमाणीकरण, या निकालने योग्य डेटा प्रदान नहीं कर सका। दस्तावेज़ीकरण प्राप्त होने तक हीटर को सेवा से हटा दिया गया था।
सेमीकंडक्टर फ़ैब्स में दस्तावेज़ीकरण और प्रमाणन आवश्यकताएँ होती हैं जो हीटर के विद्युत और थर्मल विनिर्देशों से परे होती हैं। आवश्यकताओं में सामग्री की शुद्धता, सतह की फिनिश, निकालने योग्य सामग्री और पता लगाने की क्षमता शामिल है। सेमीकंडक्टर सेवा के लिए एक कस्टम PTFE विसर्जन हीटर को इन आवश्यकताओं को पूरा करना होगा, और आपूर्तिकर्ता को इसे साबित करने के लिए दस्तावेज़ प्रदान करना होगा।
सामग्री का पता लगाने की क्षमता और शुद्धता
सेमीकंडक्टर हीटर में उपयोग किए जाने वाले पीटीएफई का पता रेज़िन लॉट में लगाया जाना चाहिए। आपूर्तिकर्ता को पॉलिमर के लिए विश्लेषण प्रमाणपत्र (सीओए) प्रदान करना होगा, जिसमें लॉट संख्या, निर्माता और प्रमुख गुण {{1}आणविक भार, क्रिस्टलीयता और अशुद्धता स्तर दर्शाया जाएगा।
पीटीएफई वर्जिन, बिना भरा हुआ पॉलिमर होना चाहिए। ग्लास, कार्बन, या अन्य एडिटिव्स युक्त भरा हुआ PTFE {{1}स्वीकार्य नहीं है क्योंकि फिलर्स प्रोसेस बाथ में लीक हो सकते हैं। पॉलिमर को प्रक्रिया की शुद्धता आवश्यकताओं को पूरा करना चाहिए, आमतौर पर निर्दिष्ट सीमा से नीचे निकालने योग्य आयनों के साथ।
| प्रलेखन | यह क्या प्रमाणित करता है | विशिष्ट आवश्यकता |
|---|---|---|
| राल सीओए | लॉट ट्रैसेबिलिटी, गुण | आणविक भार, अशुद्धता स्तर |
| सामग्री प्रमाणीकरण | वर्जिन पीटीएफई, कोई फिलर्स नहीं | 100% वर्जिन पीटीएफई |
| निकालने योग्य रिपोर्ट | आयनिक संदूषण | <50 ppb per ion |
| भूतल समाप्ति रिपोर्ट | रा मान | <0.4 μm Ra |
| आयामी निरीक्षण | सहनशीलता का अनुपालन | प्रति ड्राइंग |
सेमीकंडक्टर पीटीएफई हीटरों के लिए सामग्री का पता लगाने की क्षमता और शुद्धता संबंधी दस्तावेज
सतह की फिनिशिंग और सफाई
सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं के लिए चिकनी, साफ सतहों की आवश्यकता होती है जो कणों को नहीं रोकती हैं या दूषित पदार्थों को नहीं छोड़ती हैं। PTFE शीथ की सतह फिनिश 0.4 μm Ra या बेहतर होनी चाहिए। एक खुरदरी सतह कणों को आश्रय दे सकती है और बायोफिल्म निर्माण को बढ़ावा दे सकती है।
स्थापना से पहले हीटर को साफ और निष्क्रिय किया जाना चाहिए। सफाई प्रक्रिया विनिर्माण अवशेष, तेल और कणों को हटा देती है। निष्क्रियता प्रक्रिया यह सुनिश्चित करती है कि सतह रासायनिक रूप से निष्क्रिय है और प्रक्रिया स्नान में दूषित पदार्थों को नहीं छोड़ती है।
एक सतही फिनिश रिपोर्ट और एक सफाई प्रमाणन हीटर की सफाई का दस्तावेजीकरण करता है। रिपोर्ट में माप पद्धति, नमूना स्थान और परिणाम शामिल होने चाहिए।
एक्सट्रैक्टेबल्स और लीचेबल्स परीक्षण
एक्सट्रैक्टेबल्स परीक्षण हीटर से प्रक्रिया द्रव में आयनों, ऑर्गेनिक्स और कणों की रिहाई को मापता है। परीक्षण में एक निर्धारित अवधि के लिए ऑपरेटिंग तापमान पर अल्ट्राप्योर पानी या एक प्रतिनिधि प्रक्रिया तरल पदार्थ में हीटर को डुबोना शामिल है, फिर दूषित पदार्थों के लिए तरल पदार्थ का विश्लेषण करना शामिल है।
निकालने योग्य सीमाएँ प्रक्रिया पर निर्भर करती हैं। महत्वपूर्ण अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए, सीमाएँ धातुओं और कार्बनिक पदार्थों के लिए निम्न भागों {{1}प्रति {{2} बिलियन रेंज में हो सकती हैं। परीक्षण रिपोर्ट परिणामों का दस्तावेजीकरण करती है और प्रमाणित करती है कि हीटर प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करता है।
| परीक्षा | यह क्या मापता है | विशिष्ट सीमा | तरीका |
|---|---|---|---|
| धातु निकालने योग्य पदार्थ | Fe, Cu, Ni, Cr, Zn | <50 ppb each | आईसीपी-एमएस |
| जैविक अर्क | टीओसी, विशिष्ट जीव | <100 ppb TOC | एचपीएलसी, जीसी-एमएस |
| कण विमोचन | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | तरल कण काउंटर |
| आयन निकालने योग्य पदार्थ | सीएल⁻, एफ⁻, एसओ₄²⁻ | <50 ppb each | आयन क्रोमैटोग्राफी |
सेमीकंडक्टर पीटीएफई हीटरों के लिए एक्सट्रैक्टेबल्स परीक्षण आवश्यकताएँ
विद्युत एवं सुरक्षा प्रमाणपत्र
हीटर को फैब की विद्युत सुरक्षा आवश्यकताओं को पूरा करना होगा। उत्तरी अमेरिका में, इसका मतलब आम तौर पर यूएल या ईटीएल लिस्टिंग होता है। यूरोप में, इसका मतलब लागू निर्देशों के अनुपालन के साथ सीई मार्किंग है।
टर्मिनल परिक्षेत्र को उपयुक्त प्रवेश सुरक्षा रेटिंग {{0}आमतौर पर IP66 या NEMA 4X को पूरा करना होगा। हीटर को फैब के ग्राउंड फॉल्ट प्रोटेक्शन सिस्टम के साथ संगत होना चाहिए।
| प्रमाणन | क्षेत्र | इसमें क्या शामिल है | विशिष्ट आवश्यकता |
|---|---|---|---|
| यूएल 499 | उत्तरी अमेरिका | विद्युत सुरक्षा | सूचीबद्ध या मान्यता प्राप्त |
| सीई | यूरोप | सुरक्षा, ईएमसी | अंकन एवं घोषणा |
| आईपी66 | अंतरराष्ट्रीय | प्रवेश संरक्षण | टर्मिनल परिक्षेत्र |
| एटेक्स | यूरोप | विस्फोट-सबूत | यदि ज्वलनशील वातावरण हो |
| सेमी S2 | सेमीकंडक्टर | सुरक्षा के लिए दिशा - निर्देश | फैब आवश्यकता |
सेमीकंडक्टर पीटीएफई हीटरों के लिए विद्युत और सुरक्षा प्रमाणपत्र
पता लगाने की क्षमता और दस्तावेज़ीकरण पैकेज
सेमीकंडक्टर हीटर के लिए दस्तावेज़ीकरण पैकेज में सामग्री प्रमाणन, सतह खत्म रिपोर्ट, निकालने योग्य परीक्षण रिपोर्ट, विद्युत प्रमाणन और आयामी निरीक्षण रिपोर्ट शामिल हैं। पैकेज को विशिष्ट हीटर क्रमांक से पता लगाया जाना चाहिए।
हीटर स्वीकार करने से पहले फैब के गुणवत्ता विभाग द्वारा पैकेज की समीक्षा की जाती है। अपूर्ण दस्तावेज़ीकरण से इंस्टॉलेशन में देरी हो सकती है या अस्वीकृति हो सकती है।
जब मानक हीटर दस्तावेज़ीकरण आवश्यकताओं को पूरा नहीं कर सकते
मानक PTFE इमर्शन हीटरों को सेमीकंडक्टर सेवा के लिए आवश्यक दस्तावेज़ीकरण पैकेज के साथ आपूर्ति नहीं की जाती है। सेमीकंडक्टर सेवा के लिए डिज़ाइन किए गए एक कस्टम PTFE विसर्जन हीटर में दस्तावेज़ीकरण, परीक्षण और आवश्यक ट्रेसबिलिटी शामिल है। विनिर्देशन प्रक्रिया के लिए प्रक्रिया रसायन विज्ञान, शुद्धता की आवश्यकताएं, सतह खत्म विनिर्देश, निकालने योग्य सीमाएं और विद्युत प्रमाणपत्र की आवश्यकता होती है।
